常溫下SF6氣體是非常穩定的，但水分較多時，200°C以上就有可能產生分解，分解的生成物中有氫氟酸，是一由很強的腐蝕性和劇毒的酸類，水分的危害更主要的是在電弧高溫作用下SF6氣體分解過程中所引起的化學反應，化學反應中最后的生成物也都是隨水分含量增大而增加。為了限制有毒物質的生成量，必須限制SF6氣體中的水分含量。

水分對絕緣的影響，絕緣件表面出現凝露會對絕緣性能帶來不利影響。通常氣體中混雜的水分以水蒸氣形式影響。在溫度驟降時，可能冷凝成露水附在絕緣件表面，出現沿面放電事故。